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三氟化氮气体产品质量标准
发布时间:2014/2/28 15:46:56   浏览次数:5953次 
杂质 NF3≥99.995% Vol.% NF3≥99.99% Vol.% NF3=99.99% Vol.% NF3≥99.9% Vol.%
CF4 ≤20 Vol.ppm ≤40 Vol.ppm ≤80 Vol.ppm ≤300 Vol.ppm
N2 ≤5 Vol.ppm ≤5 Vol.ppm ≤5 Vol.ppm ≤50 Vol.ppm
O2+Ar ≤5 Vol.ppm ≤5 Vol.ppm ≤5 Vol.ppm ≤50 Vol.ppm
CO2 ≤1 Vol.ppm ≤2 Vol.ppm ≤2 Vol.ppm ≤10 Vol.ppm
H2O ≤1 Vol.ppm ≤1 Vol.ppm ≤1 Vol.ppm ≤10 Vol.ppm
酸(以HF计) ≤1 Vol.ppm ≤1 Vol.ppm ≤1 Vol.ppm ≤10 Vol.ppm
SF6 ≤1 Vol.ppm ≤2 Vol.ppm ≤2 Vol.ppm ≤10 Vol.ppm
N2O ≤1 Vol.ppm ≤2 Vol.ppm ≤2 Vol.ppm ≤10 Vol.ppm
CO ≤1 Vol.ppm ≤2 Vol.ppm ≤2 Vol.ppm ≤10 Vol.ppm

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