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六氟化钨气体产品技术指标
发布时间:2014/2/28 15:45:11   浏览次数:5819次 
气体杂质 N2 O2+Ar CO CO2 CF4 NF3 SF6 SiF4 HF
含量(ppbw 气相) <1 <0.5 <0.5 <0.5 <0.5 <0.5 <0.5 <0.5 g2-3.gif"width="200"height="9">

金属杂质 Al Ca Co Cr Cu Fe K Mg Mn Mo Na Ni Pb Th U Zn
含量(ppbw 液相) <0.2 <0.01 <0.01 <0.02 <0.01 <0.02 <0.15 <0.01 <0.1 <0.5 <0.015 <0.1 <0.02 <0.1 <0.05 <0.05


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