三氟化氮
三氟化氮
发布时间:2016/5/23 16:00:11   浏览次数:9835次 

三氟化氮,我们1979年开始研制,已有四十多年的研发生产经验。NF3是重要的清洗刻蚀气体,在半导体和液晶行业有广泛的应用。特气工程部现已建成1350t/a的高纯(99.999%)NF3生产线,拥有自主知识产权,产生了良好的社会效益和经济效益。我所生产的NF3产品已供给几乎国内所有的半导体生产厂及大部分液晶面板厂商,同时销往台湾、日本、新加坡、欧洲及美国等地。
气体标识
名称:nitrogen trifluoride 分子式:NF3 
气体物化特性

分子量 

熔点 

沸点 

临界温度 

临界压力 

液体密度 

气体密度 

水中溶解度 

CAS 

危险性类别 

71.01 

-206.8(1atm) 

-129(1atm) 

-39.3 

44.02atm(4.46MPa) 

1554kg/m3(1atm沸点时) 

2.95kg/m3(1atm 21℃) 

1.43*10-5当量浓度(1atm22) 

7783-54-2 

2.3类有毒气体在空气中的最高允许含量为29mg/m3 

包装规格
Cylinder(47L)、Bundle(16×47L)、Bundle(25×47L)、Y-Cylinder(470L)、ISO等

钢瓶容积 

钢瓶型号 

阀门 

钢瓶压力 

气体质量 

危规号 

UN编号 

包装分类 

包装标志 

47L43.3L40L8L 

DOT-3AAGB5099 

CGA330CGA640 

9.0-13.0MPa 

22kg20kg3.4kg 

23016 

2451 

 

6 

储存及运输
三氟化氮气瓶应储存于阴凉、通风仓库内。三氟化氮气瓶应远离火种、热源、防止阳光直射,与还原剂、易燃或可燃物等分开存放。
三氟化氮气瓶在搬运时要轻装、轻卸,防止钢瓶及附件破损。
三氟化氮气瓶的运输按危险品运输。运输时用气瓶固定架将三氟化氮气瓶固定好,用汽车公路运输或用轮船集装箱运输。
泄漏应急处理
如遇有三氟化氮气体泄露,工作人员要马上撤离泄漏污染区,并尽可能采取措施阻止三氟化氮气体的进一步泄露。如有工作人员中毒,应立即送往医院救治。
泄露现场要尽快处理,处理泄露现场的工作人员必须配戴必要的防毒面具,最好是自给正压式呼吸器。泄露现场经检测无危害气体后方可进入工作人员,泄露容器必须经仔细检查、维修或妥善处理好后方可继续使用。
三氟化氮气体产品质量标准(Q/718J58-2007)

杂质 

NF3≥99.995% Vol.% 

NF3≥99.99% Vol.% 

NF3≥99.98% Vol.% 

NF3≥99.9% Vol.% 

CF4 

≤20 Vol.ppm 

≤40 Vol.ppm 

≤100 Vol.ppm 

≤500 Vol.ppm 

N2 

≤5 Vol.ppm 

≤5 Vol.ppm 

≤10 Vol.ppm 

≤50 Vol.ppm 

O2+Ar 

≤3 Vol.ppm 

≤5 Vol.ppm 

≤10 Vol.ppm 

≤50 Vol.ppm 

CO2 

≤1 Vol.ppm 

≤5 Vol.ppm 

≤10 Vol.ppm 

≤10 Vol.ppm 

H2O 

≤1 Vol.ppm 

≤1 Vol.ppm 

≤1 Vol.ppm 

≤1 Vol.ppm 

酸份(HF) 

≤1 Vol.ppm 

≤1 Vol.ppm 

≤1 Vol.ppm 

≤1 Vol.ppm 

SF6 

≤1 Vol.ppm 

≤2 Vol.ppm 

≤2 Vol.ppm 

≤25 Vol.ppm 

N2O 

≤1 Vol.ppm 

≤5 Vol.ppm 

≤10 Vol.ppm 

≤10 Vol.ppm 

CO 

≤0.5 Vol.ppm 

≤5 Vol.ppm 

≤10 Vol.ppm 

≤10 Vol.ppm 


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